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  • 净化工程

    更新:2014/4/3 13:18:29      点击:
    • 产品品牌   深圳成凯丰
    • 产品型号   jhgc-01
    • 产品描述

      实验台,通风柜,实验室,实验仪器,实验室家具,净化设备,废气处理,工程规划设计装修,实验室管道施工等是深圳成凯丰主要产品与服务,我们是目前国内工程技术系统的主要研发倡导的先行者,客户便及港澳台及东南亚...

    产品介绍

          洁净工程,即洁净室,是指将在一定空间范围内,将空气 范围内 的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净室、压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照、静电控制在某一需求范围内的工程科学,净化工程所特别设计的放假,不论外在空气调教如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能,控制产品所解除之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

          净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大目前级别最高的当属航天航空的航空舱,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。

    一、洁净室用途主要有以下三个:

    空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。

     静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。

    动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。

     二、控管项目

    1、能除去空气中飘游之微尘粒子。

     2、能防止微尘粒子之产生。

    3、温度和湿度之控制。

    4、压力之调节。

     5、 有害气体之排除。

     6、结构物与隔间之气密性。

    7、静电之防制。

    8、电磁干扰预防。

     9、安全因素之考虑。

     10、节能之考量。

     三、分类

    乱流式

          空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

          定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。

          原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。 特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别?;黄问龆ǘㄒ逯械木换侗穑ɑ黄问蕉?,净化级别越高)。

                  (1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)。

                  (2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)。

                    优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

                    缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

    层流式(Laminar)

          层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

                    (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。 优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。 缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

                    (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘??煽焖倥懦鍪彝舛换嵊跋炱渌ぷ髑?。

                   优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

                   缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

    复合式(Mixed Type)

           复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

                    (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

                    (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

                    (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。 洁净工作台:等级Class 1~100级。

          洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

    四、气流的流动

           气流的重要性:洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。

           洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

           风速的控制:洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

           另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。

           垂直层流式方向要保持均一气流必须:

                 (a)吹出面的风速不可有速度上的差异;

                 (b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

           影响因素:影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。

           一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

          洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

    五、洁净室之构成

          洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:

          (1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。

          (2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。

          (3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。

          (4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。

          (5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。 洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:

                  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;

                  B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;

                  C.吸湿性??;

                  D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;

    六、洁净室按用途分类

    工业洁净室

          以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

    生物洁净室

           主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:

                  A、 一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

                  B、 生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备) 。

    七、局部洁净工程

          洁净工作台:等级Class1~100级,洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

    八、空气洁净度等级标准及规范

           经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。(21世纪)目前,该规范在重新修订中。

    GBJ73-84规定的洁净度等级

    等级 每立方米(升)空气中0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中0.5μm尘粒数
    100 《35*100(<3.5>  
    1000 《35*1000(<35> 《250(<0.25>
    10000 《35*10000(<350> 《2500(<2.5>
    100000 《35*100000(<3500> 《25000(<25>
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